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铌酸盐晶片

铌酸盐晶片

铌酸锂(Linbo3.或LN)是最通用和开发的有源光学材料之一。亚搏开户网址晶体在电光,声光,非线性光学和引导波光光学中获得广泛的应用。铌酸锂的有吸引力的基本性质包括:宽透明度范围,高电光和非线性光学系数,非常高的机电耦合系数,以及化学和机械稳定性。

G&H提供各种尺寸和厚度,晶圆直径范围为75至125毫米。标准厚度为0.5毫米,0.7mm和1.0mm。标准方向是X轴和Z轴生长。铌酸锂有两种组合物:一致性和5.0摩尔%的镁掺杂。

概述

我们经历林博的经验3.返回1967年,生产第一个市售的材料。从那时起,我们不断地改善了增长和物质处理,以能够产生最高质量,最一致的LINBO3.。从专有的增长站到专用晶圆生产机械,我们能够满足最苛刻的质量和数量要求。

一致的锂铌酸盐适用于红外光源。镁掺杂改善了可见波长在可见波长中的光反射损坏的抵抗力。虽然大多数铌酸锂晶片是双面抛光,但也可提供单面抛光晶片。铌酸锂的典型应用是波导,低通滤波器,隔离器和硅灰岩棱镜。

生长

在过去的50年中,G&H开发了专有的增长站和专利公式,以产生最高亚搏开户网址质量的林博3.晶圆。测量高纯度粉末以确保一致的组合物。计算机监控增长过程,并确保所有方面都正确管理和录制。炉内的热梯度紧紧地控制,以最小化晶体上的应力和应变。这种对细节的关注是我们致力于使最佳材料成为可能的基石。

制造

需要许多步骤以使一种生长的晶体塑造成其最终形式。光学晶片将通过以下处理步骤进行:

  • 抛出
  • 成型
  • 切片
  • 边缘研磨
  • 拉布
  • 抛光
  • 检查和测量

抛出

铌酸锂槽的铌酸锂将在整个材料中随机定向铁电域。抛光过程沿Z轴对准铁电畴。将圆形熔接超出其居里温度(1142 [符号] c),并且在z轴上施加电场。随着润帘的冷却,铁电畴与Z轴线锁定,晶体变为单结构域。

成型

在极化之后,横果成形为圆柱体。金刚石工具用于裁剪捆筒的末端并将外部研磨成气缸。该过程设定了晶片的直径。X射线用于定向晶体轴。更多的金刚石工具用于研磨主要和次要方向单位。晶体取向保持在优于6分钟。

切片

单个晶片被切割成圆柱形圆锥形。X射线用于对准晶片面。内径锯用于切割单个晶片。监测的临界切割参数包括进料速率,索引和刀片偏转。

边缘研磨

半径曲线在晶片的外边缘上研磨。弯曲轮廓使晶片在加工过程中更耐抗裂和碎裂。我们的边缘研磨机是最先进的自动化机,具有盒式磁带操作和晶圆厚度验证。

拉布

研磨是一种双面研磨过程,可去除由切片过程引起的任何地下损坏。研磨后,晶片将具有更均匀的厚度,更平坦。然后晶片通过化学蚀刻过程,通过先前的加工去除晶体中的晶体中的应力。

抛光

可提供单面和双面抛光。定制抛光板和载体允许最大的生产率,同时保持表面质量。我们抛光晶圆的典型表面是r一种<0.2nm。

检查和测量

成品晶片在目前检查的缺陷100%用于包括划痕,挖掘,空隙,夹杂物和晶界。各种光学技术用于表征晶片中的应力和应变。在检查后,在洁净室环境中,晶圆包装并密封装运。

LN晶圆的应用

隔离器,低通滤波器,眼科手术系统,在袋子细胞,Q开关,范围 - 查找器,目标名称,波导,沃斯顿棱镜中使用


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